日本光驰OTFC-1550MM带涉频源光学玻璃真空镀膜机-滤光片光学镀膜机设备介绍
. 用途:此真空镀膜机是镀制防污膜(AS膜)及防反射膜+防污膜(AF+AS膜)型光学镀膜机,应用于镀膜机等所配的触摸屏。真空中制备膜层可防止膜料和镀件表面的污染,消除空间碰撞,提高镀层的致密性和可制备单一化合物的特殊功能的镀层。为了提高镀层厚度的均匀性,运动模式的膜均匀性好,镀层的台阶覆盖性能好,承载能力大,可充分利用有效空间的真空镀膜室,是一个运动的常用模式。排气系统一般由机械泵,扩散泵,管道和阀门组成。为了提高泵的流量,可以添加增压器之间的机械泵和扩散泵。因此,不仅在较短的时间内低压力以保证快速的工作循环的排气系统,还需要确保气体的蒸发源和蒸镀工件表面产生快速的去除。蒸发系统包括电气设备和加热蒸发源蒸发源。电气设备包括测量真空薄膜的厚度和控制
3.特征:磁密封驱动的基板旋转式可得到稳定和均匀的膜厚分布
4.配备:配备RF离子源以提高膜的耐摩擦性;用于防污膜(AS 膜)批量生产;防污膜(AS 膜)批量生产。
5.性能:达到压强7.0E-5Pa以下
6.配置参数:
OTFC-1550光学镀膜机配置
真空室:SUS304,Ф1550*1800MM |
工件架:Ф1400 |
工件架转速:10rpm to 30rpm (可变) |
光学膜厚控制:HOM2- -R -VIS350A |
光学膜厚监控仪:波长范围: 350nm to 1100nm |反射式 |
水晶式膜厚计:XTC/3+6点式水晶传感器 |
蒸发源:2套日本电子24P双枪 |
离子源:23 寸光驰RF离子源 |
排气系统:机械泵1个,扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵 |
性能 |
达到压力:7. 0X10-5Pa以下 |
排气时间:20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) |
基板温度:: 350C |
工作条件 |
电源:3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA |
水流量:180升/分以上 |
空气压力:0.5MPa以上 |
重量:约11000kg |
订购说明
镀膜机设备清单
镀膜机清单 | |
品牌 | 规格(MM) |
日本光弛 | 1300.1550.2350 |
日本新科隆 | 1350 |
韩国韩一镀膜机 | 900.1200.1600.2050 |
韩国联合镀膜机 | 1650.205 |
莱宝镀膜机 | APS1100 |
闽台龙翩 | 1400.1650.1800 |
成都南光 | 1100 1300 |
日本光驰OTFC-1550MM带涉频源光学玻璃真空镀膜机-滤光片光学镀膜机设备图片
二手机械库存明细
双面抛光机系列:
日本:hamai16B speedfam16B 21B 28B 30B 40B 双面抛光研磨机
德国:Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机
国产:金研/宇晶9.6B 9S 9B 13B 15B 16B 20B
镀膜机械系列:
日本:光弛OTFC-1300/1550/2350
德国:莱宝:1300
闽台:龙翩LP-1400/1650/1800
韩国:韩一 1200 联合2050
南光:1100/1300
检测仪器:
日本岛津:1900/2401/2550/3700分光光度计
日 立 :2900/4000/4001/4150 光谱仪
二次元/三次元(2010/3020/4030.......)
一批二手仿形机120/175MM
一批无尘洁净台2.44*1.2*1.95米
一批10-13槽半自动超声波清洗机