日本缤井16B硅片抛光机-硅片打磨机-全自动减溥机

日本缤井16B硅片抛光机-硅片打磨机-全自动减溥机设备介绍

驱动方式：全自动 类型：转轴 工作方式：涡轮研磨机 研磨盘尺寸 1112*380*50 1145*349*50 　　**研磨厚度： 0.2mm 　　**研磨厚度 :35mm 　　游星轮片数量： 5 片 　　**研磨直径： 380/630MM 　　下磨盘转速： 0-60/rpm 　　过滤干燥汽源 : 0.4-0.6mpd 　　游轮参数：英制： Z=200 DP12 　　主电机： 380V/15KW/1460rpm 　　下研磨盘跳动 :0.05 　　修正轮修正平行度 :<0.005 　　太阳轮径向跳动 :0.12 　　内齿圈径向跳动 :0.2 　　标配修正轮 5 个 　　水泵 : 0.15KW 　　外形心尺寸 :2300*1800*2800 　　机器重量 :6500KGSPEEDFAM-16B 双面研磨机适用范围 　　蓝宝石基片、光学光电子材料、触屏玻璃、盖板玻璃、硅片、陶瓷片等非金属的双面研磨抛光 . 不锈钢 . 铝合金，钼片等金属材质双面研磨抛光。 SPEEDFAM-16B 双面研磨机性能特点 1. 本机主体采用一次成型工艺，合理的结构大大提升整机刚性度 2 上盘系统设计了三点平衡系统，保证了上盘落下时与下盘的平行度 3 齿圈，太阳轮、液盆同步齿轮抬升，任意位置自锁可停 4 抛光机供液系统采用双通道冷却，有效降低抛光过程中盘面的温度 5 工作过程中水液自动分流，水路液路分离。 6 传动系统三电机联合拖动，变频调速，实现软启动软停止 。

硅片研磨工艺简介

硅片研磨工艺是指去除切割工艺造成的锯痕，减少硅片表面的损伤层（Su ** ce Da ** ge）所需设备为双面研磨机：

双面研磨机

双面研磨机的工作原理是行星车辆的外齿圈与中心轮的外齿圈和下研磨盘外径端的内齿圈啮合。硅片放置在行星车辆孔中，随车辆旋转，上下研磨盘旋转，施加一定的研磨压力。行星车辆在上下研磨盘之间随行星轮旋转，并浇筑氧化铝、水制成的研磨浆。磨削阻力小，不损坏工件，两侧均匀磨削生产效率高。有光栅厚度控制系统，加工后产品厚度公差可控。双面研磨机的重要组成部分包括球墨铸铁研磨板、车辆和研磨浆机。球墨铸铁制造研磨板的主要原因是球墨铸铁中的球形石墨在研磨过程中可以润滑：

研磨盘是研磨机的关键部件，不仅要保证研磨盘的表面几何精度和保持性，还要有均匀的硬度分布(硬度为140-180HB），易于修复等特性。研磨盘的研磨表面通常有沟槽，其作用是方便研磨浆在研磨表面流动，研磨后方便取片。沟通深度一般为10mm，宽度1-2mm，沟槽间距取决于设备制造商的经验。

根据研磨机的原理，双面研磨机必须有三种基本运动：上下研磨板之间的相对旋转、行星车辆的旋转和绕组中心轮的旋转。中心轮的固定轴在设备结构上旋转是必要的，可以选择下研磨固定轴旋转是可选的。

双面研磨机的主要参数是研磨盘的直径(mm)、研磨区宽度(mm)、直径的研磨硅片(mm)、研磨较小/厚度(mm)、研磨压力(kgf)和中心轮转速(r/min)等。

双面研磨工艺通常采用粗研和精研相结合的方法来提高硅片的研磨质量，其中粗研工艺采用磨料粒度较大的研磨浆料(磨料粒度约为15m）、磨削压力大，磨削速度高，磨削去除率高，磨削后硅片表面粗糙度达0.63m以下。

精研工艺采用磨料粒度较小的研磨浆料(研磨粒度约为3-5m）、磨削压力低，磨削速度小，磨削去除率小，磨削后硅片表面粗糙度达0.16m以下。

日本缤井16B硅片抛光机-硅片打磨机-全自动减溥机照片

公司介绍

东莞准纳光电科技有限公司是东莞市宏诚光学制品有限公司旗下的一家子公司，提供研磨抛光整体解决方案。公司紧跟市场需求，可向客户提供平面研磨抛光机、双面研磨抛光机等设备及耗材，同时提供抛光研磨来料加工服务。加工范围不限于半导体硅晶片、光学玻璃、陶瓷、液晶、手表玻璃、宝石、各种法兰、阀片、密封件等金属及非金属的零部件;

我司的主打批量光学产品有玻璃码盘、图形络板、标定板、掩摸板、玻璃线纹尺、玻璃分化板、玻璃光栅条、筛选机玻璃盘等光学产品。

同时准纳拥有强大的技术团队，可根据客户要求，提供大尺寸工件，加工难度高的部件进行抛光研磨的加工服务。准纳秉承“效率成就品牌,诚信铸就未来”的企业宗旨，以“质量求生存、以服务谋发展，全心全意为每一位客户做好各项工作。

我司的主打批量光学产品有玻璃码盘、图形络板、标定板、掩摸板、玻璃线纹尺、玻璃分化板、玻璃光栅条、筛选机玻璃盘等光学产品。准纳光电玻璃系列标定板和陶瓷系列标定板是专为高校实验、研究单位项目研发和机器视觉集成商产品标定等等客户群体使用的常用标定工具，能够方便获得相机的标定数据。主要适用于机器视觉，三维扫描仪，自动化设备，AOI/SMT贴片机,影像测量仪,工业相机,计量所,高校,半导体行业，研究单位项目研发和机器视觉集成商研制的**高精度测量校准工具，通过机器视觉标定软件能方便获取相机标定数据结果。广泛应用于高精度测量、多目立体视觉、畸变校正。专业用于测量仪器在测量的时候进行标准化校准，即仪器测量工件前对仪器进行校对，以此校准片作为标准样品，根据距离对应关系得到标准的数值，对于PCB板，五金电镀，2次元，3次元，显微镜，贴片机等测量，定位仪器起到很重要的作用。

     准纳光电玻璃系列标定板和陶瓷系列标定板是专为高校实验、研究单位项目研发和机器视觉集成商产品标定等等客户群体使用的常用标定工具，能够方便获得相机的标定数据。主要适用于机器视觉，三维扫描仪，自动化设备，AOI/SMT贴片机,影像测量仪,工业相机,计量所,高校,半导体行业，研究单位项目研发和机器视觉集成商研制的**高精度测量校准工具，通过机器视觉标定软件能方便获取相机标定数据结果。广泛应用于高精度测量、多目立体视觉、畸变校正。专业用于测量仪器在测量的时候进行标准化校准，即仪器测量工件前对仪器进行校对，以此校准片作为标准样品，根据距离对应关系得到标准的数值，对于PCB板，五金电镀，2次元，3次元，显微镜，贴片机等测量，定位仪器起到很重要的作用。

二手机械库存明细

双面抛光机系列：

日本：hamai16B   speedfam16B  21B 28B  30B  40B 双面抛光研磨机

德国：Peter Wolters 319/320系列双端面抛光机

国产：金研/宇晶9.6B  9S 9B  13B 15B 16B 20B

镀膜机械系列：

日本：光弛OTFC-1300/1550/2350

德国：莱宝：1300

闽台：龙翩LP-1400/1650/1800

韩国：韩一 1200  联合2050

南光：1100/1300

检测仪器：

日本岛津：1900/2401/2550/3700分光光度计

日 立   ：2900/4000/4001/4150 光谱仪

二次元/三次元（2010/3020/4030.......）

一批二手仿形机120/175MM

一批无尘洁净台2.44*1.2*1.95米

一批10-13槽半自动超声波清洗机