日本创技28B-5P硅片抛光研磨机 镜面减溥机 平磨机

设备介绍

日本创技28B-5P硅片4寸-6寸-8寸-12寸双抛光研磨机 镜面减溥机 平磨机工作原理：

  公司有多台日本(HAMAI)28B,日本创技(SPEEDFAM)16B、18B、20B、21B、28B、40B双面研磨抛光机

本机适用于硅片、石英晶片、陶瓷片、砷化钾片及其它硬脆材料的双面精密研磨加工。

主要特点：

  1.进口变频器配合变频电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。

  2.采用二电机同步拖动，可选择游星轮的变速范围更广，能适用不同的研磨材料及研磨工艺的要求。

  3.单独电机抬升内齿圈，并在总行范围内随意停留，满足了取放工件及调整游星轮啮合位置的要求。通过调节太阳轮座上的三组不同的厚度的不锈钢片改变太阳轮高度，调整方法简便。

  4.采用国内先进的防腐技术对齿圈座的下磨盘座进行处理，大大提高了其耐蚀性，继而也提高并能长期保证底座安装精度。

  5.电气系统采用可靠性高的PLC实现。气动系统全部选用高品质的**品牌元件，主气缸为精密低摩擦力气缸，压力调整采用高动态特性的进口电气比例阀元件。

  6.压力调整采用电气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制，其静态调整精度＜2Kg,动态压力波动＜30Kg。可提高工件尤其是薄形工件的加工稳定性，进而确保提高元件加工精度及合格率。

  7.人机界面（HMI）显示与PLC主控制器结合，一方面显示运行参数，另一方面通过其他触摸键调整设定各项参数，主操作由普通键钮完成。

  8.采用自动润滑装置，用户可根据自己的使用情况，设定自动润滑时间，使机器的各相对运动表面，齿轮啮合部位得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。

  9.研磨机配置了高精度的测厚装置，工件加工的动态情况通过HMI随时可见。

  10.可根据用户的加工工艺要求，选装抛光液温度调节装